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产品介绍
此产品是一种双质量块结构的MEMS谐振式真空计，实现了高真空测量仪表的小型化。真空传感器尺寸5x5mm，贴片在被测真空环境，通过引线与测控电路联接。电路采用交流电压驱动、电容检测技术，通过监测输出电压变化反演压力值。
该产品积。山饬肯孪扪由斓礁哒婵辗段，具有极高的测试灵敏度，可满足嵌入式测量场景以及测量仪器小型化集成需求。高精度、宽量程、低功耗、重复性好的全国产自主真空计是一款颠覆性的产品，既可以测量粗真空、替代使用不便、精度差的国产产品，也可满足中高真空要求，替代高价格的进口产品。
产品特点
- 芯片级
- 体积小
- 功耗低
- 灵敏度高
应用领域
- 超低真空的高精度真空计量
- 光伏设备、半导体镀膜设备
- 军用真空管壳(红外杜瓦)等领域
产品性能指标
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